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MLT-Z系列超高精度線性電機垂直位移臺

簡要描述:MLT-Z系列超高精度線性電機垂直位移臺緊湊、薄型、高精度線性平臺將 XM 系列的超精密性能與緊湊型 VP 線性平臺系列相結(jié)合。MLT-Z垂直位移臺通過磁性彈簧平衡系統(tǒng)保持出色的定位性能。

MLT位移臺非常適合半導(dǎo)體、工業(yè)或研究市場中的典型掃描或點對點應(yīng)用,用于計量、傳感器測試和校準(zhǔn)、對準(zhǔn)以及拾放組裝。

最佳MIM和精度
經(jīng)過FEM優(yōu)化的堅固鋁制機身可防止熱彎曲效應(yīng)

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

經(jīng)銷商

更新時間

2025-01-23

瀏覽次數(shù)

654
詳細(xì)介紹
品牌Newport/美國價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別進口產(chǎn)品種類電動
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

MLT-Z系列超高精度線性電機垂直位移臺產(chǎn)品規(guī)格

型號
image.png
MLT25-ZMLT50-Z
行程范圍25 mm50 mm
最小位移增量5 nm5 nm
最大速度500 mm/s500 mm/s
最大加速度0.5 g0.5 g
最大持續(xù)力3 N3 N
中心負(fù)載能力5 N5 N
精度,保證值±0.5 µm±0.7 µm
雙向重復(fù)精度,保證值±0.15 µm±0.15 µm
俯仰,保證值±50 µrad±75 µrad
偏擺,保證值±50 µrad±75 µrad
典型平面度±1 µm±2 µm
直線度,保證值±1 µm±2 µm
驅(qū)動方式Ironless MotorIronless Motor
反饋1 Vpp 20 µm pitch1 Vpp 20 µm pitch
電纜長度2.9 m2.9 m
重量3.0 kg3.2 kg
Compliance

MLT-Z系列超高精度線性電機垂直位移臺特征

可靠的設(shè)計

每個MLT平臺的底座均采用高強度鋁合金制成,并通過有限元方法 (FEM) 進行了優(yōu)化,以獲得最佳的剛性和熱性能。選擇部件,如長壽命和高負(fù)載交叉滾子軸承、大力直線電機和高精度直線編碼器,兼顧性能和可靠性。內(nèi)置限位開關(guān)可防止超程和碰撞。為了保證MLT的高可靠性,進行了大量的試驗。

Ironless Motor

MLT series stages are equipped with MKS designed ironless motors that include hall effect sensors and thermistor in a very compact size. Compared to iron core motors, the main advantage of ironless motors is better speed stability (no cogging) and shorter settling time, which is critical for fiber alignment applications.


低運維成本

MLT 系列緊湊、薄型和快速平臺占用更少的空間,以更高的加速度和速度運行,降低了運行成本。 此外,由于它們的高可靠性設(shè)計,它們需要的初始投入低且需要的維護更少。


多種配置

MLT 系列還提供 線性平移臺,行程范圍為25 mm至250mm??梢岳每捎玫陌惭b孔內(nèi)置到XY疊堆中。預(yù)組裝的XYZ疊堆可在短行程25毫米和50毫米范圍內(nèi)使用。


平衡板

垂直平移臺配有4個可拆卸的磁性平衡板,以適應(yīng)一系列垂直負(fù)載,同時保持出色的定位性能。使用的平衡板數(shù)量取決于客戶的有效負(fù)載。

即插即用 ESP 兼容

MLT 兼容支持即插即用 ESP 技術(shù)的 XPS 系列標(biāo)準(zhǔn) MKS 控制器,無需復(fù)雜的驅(qū)動程序配置即可輕松啟動。 (注意XY配置需要手動設(shè)置參數(shù)。)

負(fù)載特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:


●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility. 

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